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Plasmatechnologie

Die Arbeitsschwerpunkte in der Abteilung Plasmatechnologie sind die Erzeugung und Diagnostik von großflächigen und großvolumigen Mikrowellen-erzeugten Niederdruck- und Atmosphärendruck-Plasmen.

Die am Institut entwickelten linear ausgedehnten Plasmaquellen eignen sich besonders für Beschichtungen und Behandlungen bei verschiedenen industriellen Anwendungen. Vor allem in Photovoltaiksystemen und in der Mikroelektronik sind die Quellen zur Herstellung von Schutz- und Passivierungsschichten sowie als elektrische Isolationsbarriere im Einsatz. Durch geeignete plasmagestützte Verfahren zur Behandlung von Kunststoffen wird die Diffusion von Teilchen stark reduziert. Dies kann in der Verpackungsindustrie, bei Kunststoffbehältern und bei Membranen von Brennstoffzellen angewandt werden.

Weitere langjährige Erfahrungen liegen bei der Diagnostik von Plasmen mit optischer Emissionsspektroskopie und Langmuirsonden vor. Hierfür stehen eine Reihe von Spektrometern vom UV bis VIS mit unterschiedlichen Auflösungen zur Verfügung. Ziel ist es, die reaktiven Teilchen mit möglichst hoher räumlicher und, wenn notwendig, auch mit zeitlicher Auflösung zu analysieren. Hieraus können unter anderem die fundamentalen Plasmaparameter, wie Gastemperatur, Elektronendichte und -temperatur bestimmt werden.

Projekte:

Plasmaquellen:

Ansprechpartner
Name: Dr.-Ing. Matthias Walker