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Matthias Walker

Herr Dr.-Ing.

Verwaltungsleiter, Leiter Plasmatechnologie
Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP

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Deutschland

Auswahl an Publikationen

  1. W.Petasch, E. Räuchle, M. Walker, Polymer auf Aluminium: Partnerschaft auf kurze Zeit?, Metalloberfläche, 46 (1992), 10.
  2. W. Petasch, K. Baumgärtner, E. Räuchle, M. Walker, Influence of plasma surface treatment on the adhesion of thin films on metals, Surf. Coat. Technol., 59 (1993), 301.
  3. M. Walker, K. M. Baumgärtner, E. Räuchle, Multilayer barrier films on polyethylene polymerized from CF3H / C2H4 plasmas, Acta Polym., 47 (1996), 466.
  4. M. Walker, K. M. Baumgärtner, M. Ruckh, M. Kaiser, H. W. Schock, E. Räuchle, XPS and IR Analysis of Thin Barrier Films Polymerized from C2H4 / CF3H ECR-Plasmas, J. Appl. Polym. Sci, 64 (1997), 717.
  5. M. Walker, K. M. Baumgärtner, M. Kaiser, S. Lindenmaier, E. Räuchle, Barrier properties of thin films polymerized from CF3H / C2H4 electron cyclotron resonance plasmas, Surf. Coat. Technol., 97 (1997), 291.
  6. M. Walker, K. M. Baumgärtner, M. Kaiser, J. Kerres, A. Ullrich, E. Räuchle, Proton-Conducting Polymers with Reduced Methanol Permeation, J. Appl. Polym. Sci., 74 (1999), 67.
  7. M. Kaiser, K. M. Baumgärtner, A. Schulz, M. Walker, E. Räuchle, Linearly extended plasma source for large-scale applications, Surf. Coat. Technol. 116-119 (1999), 552.
  8. M. Walker, K. M. Baumgärtner, A. Schulz, E. Räuchle, Silicon nitride films from the Plasmodul- a new microwave plasma device, 14th Int. Symp. on Plasma Chemistry, Symp. Proc., Vol. III (1999), 1427.
  9. M. Walker, K. M. Baumgärtner, J. Feichtinger, M. Kaiser, E. Räuchle, J. Kerres, Barrier properties of plasma polymerized thin films, Surf. Coat. Technol., 116-119 (1999), 996.
  10. M. Walker, K. M. Baumgärtner, J. Feichtinger, M. Kaiser, A. Schulz, E. Räuchle, Silicon oxide films from the Plasmodul, Vaccum, 57 (2000), 387.
  11. K. M. Baumgärtner, J. Schneider, A. Schulz, J. Feichtinger, M. Walker, Short-time plasma pre-treatment of polyteraflurethylene for improved adhesion, Surf. Coat. Technol. 142-144 (2001), 501.
  12. J. Feichtinger, R. Galm, M. Walker, K. M. Baumgärtner, A. Schulz, E. Räuchle, U. Schumacher, Plasma polymerized barrier films on membranes for direct methanol fuel cells, Surf. Coat. Technol., 142-144 (2001), 181.
  13. A. Schulz, K. M. Baumgärtner, J. Feichtinger, M. Walker, U. Schumacher, A. Eicke, K. Herz, F. Kessler, Surface passivation of silicon with the Plasmodul, Surf. Coat. Technol., 142-144 (2001), 771.
  14. J. Feichtinger, J. Kerres, A. Schulz, M. Walker, U. Schumacher, Plasma modifications of membranes for PEM fuel cells, J. New. Mat. Electrochem. Systems, 5 (2002), 155.
  15. M Walker, Plasma polymerized barrier films, Recent Res. Devel. Appl. Pol. Sci., 1 (2002), 281.
  16. J. Feichtinger, A. Schulz, M. Walker, U. Schumacher, Sterilisation with low-pressure microwave plasmas, Surf. Coat. Technol., 174-175 (2003), 564.
  17. A. Schulz, M. Walker, J. Feichtinger, E. Räuchle and U. Schumacher, Investigations and applications of plasmas generated by the Duo-Plasmaline, in Microwave Discharges: Fundamentals and Applications, ISBN 3-00-011612-5.
  18. J. Krüger, T. Kubach, J. Feichtinger, K. Hirsch, P. Lindner, S. Quell, A. Schulz, R. Stirn, M. Walker, U. Schumacher, Spectroscopic investigations of pulsed microwave generated Ar, N2 and silane plasmas, Surf. Coat. Technol., 174-175 (2003), 933.
  19. A. Schulz, J. Feichtinger, J. Krüger, M. Walker, U. Schumacher, Spectroscopic investigations on silicon nitride deposition with the Plasmodul, Surf. Coat. Technol., 174-175 (2003), 947.
  20. M. Walker, F. Meermann, J. Schneider, K. Bazzoun, J. Feichtinger, A. Schulz, J. Krüger and U. Schumacher, Investigations of plasma polymerized films on polymeric materials, Surf. Coat. Technol., 200 (2005), 947.
  21. J. Krüger, U. Schweitzer, J. Schneider, A. Schulz, M. Walker, U. Schumacher, Investigations of silicon nitride layers deposited in pulsed microwave generated ammonia-silane plasmas, Surf. Coat. Technol., 200 (2005), 639.
  22. A. Schulz, D. Herrmann, F. Kessler, J. Schneider, M. Walker, U. Schumacher, Detection and identification of pinholes in plasma-polymerised thin film barrier coatings on metal foils, Surf. Coat. Technol., 200 (2005), 213.
  23. J. Schneider, K. M. Baumgärtner, J. Feichtinger, J. Krüger, P. Muranyi, A. Schulz, M. Walker, J. Wunderlich, U. Schumacher, Investigation of practicability of low-pressure microwave plasmas in the sterilisation of food packaging materials at industrial level, Surf. Coat. Technol., 200 (2005), 962.
  24. J. Schneider, U. Schumacher, A. Schulz, M. Walker, M. Leins, U. Stroth, Development of Plasma Polymerised SiOx Barriers on Polymer Films for Food Packaging Applications, Plasma Process. Polym., 4:155–159, 2007.
  25. M Leins, M. Walker, K. M. Baumgärtner, A. Schulz, U. Schumacher, U. Stroth, Studies on a microwave-heated atmospheric Plasma Torch, Plasma Process. Polym., 4:493-497, 2007.
  26. A. Schulz, L. Steiner, M. Walker, U. Schweitzer, J. Krüger, U. Stroth, Infrared and morphological investigations of plasma-polymerised thin silicon nitride films deposited with the Plasmodul, Plasma Process. Polym., 4:826–830, 2007
  27. U. Schweitzer, K. M. Baumgärtner, U. Stroth, M. Walker, U. Schumacher, A. Schulz, Study of a new plasma source for free-standing plasmas, Plasma Process. Polym., 4:978-981, 2007.
  28. U. Schweitzer, A. Schulz, M. Walker, K.-M. Baumgärtner, H. Muegge, U. Schumacher and U. Stroth, The Microwave Concentrator Stack: A Source for Free-Standing, Linearly Extended Plasmas, Contr. Plasma Phys., 47:505–509, 2007.
  29. M. Leins, L. Alberts M. Kaiser, M. Walker, A. Schulz, U. Schumacher, U. Stroth, Development and characterisation of a microwave-heated atmospheric plasma torch, Plasma Process. Polym. 2009, 6, S227-S232.
  30. M. Leins, A. Schulz, M. Walker, U. Schumacher, U. Stroth, Development and Characterization of an Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Torch, IEEE Transaction on Plasma Science, 982 - 983, Vol. 36, No. 4, August 2008.
  31. J. Schneider, M.-I. Akbar, J. Dutroncy, D. Kiesler, M. Leins, A. Schulz, M. Walker, U. Schumacher, and U. Stroth, Silicon oxide barrier coatings deposited on polymer materials for applications in food packaging industry, Plasma Process. Polym. 2009, 6, S700-S704.
  32. E. Häberle, J. Kopecki, A. Schulz, M. Walker, and U. Stroth, Deposition of barrier layers for thin film solar cells sustained by bipolar substrate biasing, Plasma Process. Polym. 2009, 6, S282-S286.
  33. U. Schumacher, R. Stirn, A. B. Ene, K. Hirsch, M. Leins, P. Lindner, A. Schulz, and M. Walker, Spectroscopic Analysis of Microwave-Generated Plasmas, IEEE Transaction on Plasma Science, 1836 - 1842, Vol. 37, No. 6, 2009.
  34. G. Buyle, J. Schneider, M. Walker, Y. Akishev, A. Napartovich, and M. Perucca, Plasma systems for surface treatment, chapter 2, 33 – 61, Wiley-VCH, Weinheim, 2010.
  35. J. Schneider and M. Walker, Oxygen barriers for polymer food packaging, chapter 8, 225 – 261, Wiley-VCH, Weinheim, 2010.
  36. J. Kopecki, D. Kiesler, M. Leins, A. Schulz, M. Walker, M. Kaiser, H. Muegge, U. Stroth, Investigations of a high volume atmospheric plasma torch at 915 MHz, Surface and Coatings Technology, 225, S342-S346, 2011.
  37. S. Plog, J. Schneider, M. Walker, A. Schulz, U. Stroth, Investigations of plasma polymerized SiOx barrier films for polymer food packaging, Surface and Coatings Technology, 225, S165-S170, 2011.
  38. A. Schulz, M. Leins, J. Kopecki, M. Walker, U. Stroth, Mikrowellen-Plasmabrenner bei Atmosphärendruck, Vakuum in Forschung und Praxis, 23, 6-11, 2011.
  39. S. Merli, A. Schulz, M. Walker, U. Stroth, T. Hirth, Hochrateabscheidung mit einem Mikrowellenplasma, Vakuum in Forschung und Praxis, 25(2), 33-44, 2013.
  40. A. Schulz, P. Büchele, E. Ramisch, O. Janzen, F. Jimenez, C. Kamm, J. Kopecki, M. Leins, S. Merli, H. Petto, F.R. Mendez, J. Schneider, U. Schumacher, M. Walker, U. Stroth, Scalable Microwave Plasma Sources from low to atmospheric pressure, Contrib. Plasma Phys., 52(7), 607-614, 2012.
  41. M. Leins, M. Walker, A. Schulz, U. Schumacher, U. Stroth, Spectroscopic investigation of a microwave-generated atmospheric pressure plasma torch, Contrib. Plasma Phys., 52, 615-628, 2012.
  42. Leins, M., Gaiser, S., Schulz, A., Walker, M., Schumacher, U., Hirth, T. How to Ignite an Atmospheric Pressure Microwave Plasma Torch without Any Additional Igniters. J. Vis. Exp., e52816, doi: 10.3791/52816 (2015).
  43. W. Bongers, H. Bouwmeester, B. Wolf, F. Peeters, S. Welzel, D. van den Bekerom, N. den Harder, A. Goede, M. Graswinkel, P. W. Groen, J. Kopecki, M. Leins, G. van Rooij, A. Schulz, M. Walker, R. van de Sanden, Plasma-driven dissociation of CO2 for fuel synthesis, doi: 10.1002/ppap. 201600126.
  44. S. Merli, A. Schulz, M. Walker, G. Tovar, Hochrateabscheidung von Schutzbeschichtungen mit einem Mikrowellenplasma, Galvanotechnik, 7, 1426-1433, 2018

Patente

Walker, E. Räuchle, H. Gleich, O. Hoyer, G. Vollweiler, Process for plasma coating a plastic object with multifunctional layers, Europäisches Patent EP 0739655 B1, 31.03.1999

Kaiser, M. Walker, E. Räuchle, M. Ruckh et al., Mehrfunktions-Verkapselungsschichtstruktur für photovoltaische Halbleiterbauelemente und Verfahren zu ihrer Herstellung, Deutsches Patent DE 197 32 217 A1, 11.02.1999

Schulz, M. Walker, U. Schweitzer, K. M. Baumgärtner, H. Mügge, Anordnung zur Konzentration von Mikrowellenenergie, DE 10 2006 034 084.1, 24.01.2008

Walker, A. Schulz, S. Merli, R. Oser, T. Kuhlmann, Mehrschichtaufbau mit gutem UV- und Kratzschutz, EP 3 114 174 B1, 29.11.2017

Akademischer Werdegang

1983 bis 1989
Physikstudium an der Universität Stuttgart

1989 bis 1990
Diplomarbeit am Institut für Plasmaforschung mit dem Thema „Untersuchung der plasmaphysikalischen Grundlagen einer induktiv gekoppelten Plasmaentladung“

11.09.1990
Diplomprüfung zum Dipl.-Phys.

1991 – 1996
Wissenschaftlicher Angestellter am Institut für Plasmaforschung

16.12.1996
Promotion zum Dr.-Ing. mit der Arbeit über die „Permeation von Toluol durch plasmapolymerisierte Barriereschichten auf Polyethylen hoher Dichte“

Doktorvater Prof. Dr. Uwe Schumacher, Mitberichter Prof. Dr. Gerhard Busse

seit 01.01.2005
Leitung der Abteilung Plasmatechnologie des Instituts für Plasmaforschung

seit 01.01.2013
Leitung der Abteilung Plasmatechnologie des IGVP mit z.Zt. 2 Wissenschaftlern, 3 Doktoranden, 1 Techniker und 3 Bachelor- und Masterstudenten

Beruflicher Werdegang

1991 – 1996
Wissenschaftlicher Angestellter am Institut für Plasmaforschung

seit Juli 1999
Verwaltungsleiter des Instituts für Plasmaforschung

13.03.2000
Ernennung zum Akademischen Rat

17.06.2003
Ernennung zum Akademischen Oberrat

seit 01.01.2013
Verwaltungsleiter des Instituts für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie (IGVP) mit mehr als 70 Mitarbeitern

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