Planartron

Duo-Plasmaline-Array

Das Planartron ähnelt einem Duo-Plasmaline-Array. Hier sind die parallelen Quarzrohre zu einer einzigen Quarzplatte zusammengefasst, die den Normaldruckbereich von der Plasmazone im Niederdruck trennt. Die Mikrowelle breitet sich als freie Welle in einem halbkoaxialen Wellenleiter mit Mäanderstruktur aus.

Bei Verwendung dieser Struktur wird die Mikrowelle homogen durch die Quarzplatte geführt und es bildet sich an der Oberfläche der Quarzplatte im Niederdruckbereich ein homogenes Plasma aus.

Planartron-Reaktor mit verschiedenen Gasen.

Video nicht verfügbar. Für mehr Informationen Element bearbeiten ...
© Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP
Dieses Bild zeigt Andreas Schulz
Dr.-Ing.

Andreas Schulz

Wiss. Mitarbeiter, Plasmatechnologie

Zum Seitenanfang