Der Mikrowellen-Mikroplasmabrenner basiert auf einem l/4-Koaxialresonator, der eine elektrische Feldüberhöhung an der Spitze des Resonatorinnenleiters erzeugt. Dort bildet sich das Mikroplasma als Verlängerung des Innenleiters aus. Die Form des Plasmas, die niedrige Gastemperatur und seine Potentialfreiheit eignen sich für vielseitige Anwendungen, z.B. in der lokalen Oberflächenbehandlung.

Matthias Walker
Dr.-Ing.Verwaltungsleiter, Leiter Plasmatechnologie

Andreas Schulz
Dr.-Ing.Wiss. Mitarbeiter, Plasmatechnologie